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全自動(dòng)硅片甩干機(jī)是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中的高精密設(shè)備,主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過自動(dòng)化的流程,能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物,確保硅片的清潔度和干燥度,從而滿足后續(xù)工藝的要求。
主要特點(diǎn):
彩色液晶觸摸屏實(shí)時(shí)監(jiān)控,可存儲(chǔ)多種工藝菜單
腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼,電化學(xué)拋光處理
去離子水電阻率監(jiān)控功能
無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)
氮?dú)鉁囟瓤刂?/p>
轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊?/p>
具有鎖蓋防護(hù)功能
故障診斷、顯示、報(bào)警功能
可提用戶特殊要求配置
采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能,能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求
設(shè)備設(shè)計(jì)可以適應(yīng)不同直徑的硅片,包括方形和其他特殊形狀的材料。
采用全自動(dòng)控制,包括去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍?,?shí)現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動(dòng)化處理
設(shè)備具備多項(xiàng)技術(shù)性能指標(biāo),如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等,確保操作的安全性和穩(wěn)定性
包括使用氮?dú)夂腿ルx子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求,如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等
部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制,實(shí)現(xiàn)整個(gè)過程的智能化,具有故障實(shí)時(shí)顯示和報(bào)警功能
設(shè)備設(shè)計(jì)考慮了節(jié)能和效率,例如,整個(gè)甩干過程一般只需5-6分鐘
主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并進(jìn)行電化學(xué)拋光處理,以提高設(shè)備的耐用性和清潔度
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過精密動(dòng)平衡處理,保證工作時(shí)的平衡性,并采用特種減振器以實(shí)現(xiàn)精密減振和阻尼
設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模,滿足不同應(yīng)用需求。
傳真:0537-2279761
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